С развитието на китайската полупроводникова индустрия, разработването на ключови компоненти за технологично оборудване се превърна в критично ограничение за развитието на оборудването. Тъй като призивът за местна локализация на полупроводниковата технология става все по-силен, все повече технологии с тесни места в полупроводниковата индустрия ще бъдат преодолени. Въз основа на дългогодишен опит в производството на полупроводници, нашата компания разработи високоскоростен серво мотор с кух-вал-за адсорбиране на пластини в оборудване за нанасяне на полупроводникови покрития, проявяване и почистване. Този двигател се характеризира с високо ускорение, широк диапазон на скоростта и висока чувствителност и е широко похвален от клиенти в индустрията.
Приложения на сервомотора с кух-вал:
Оборудване за експониране и проявяване (покритие, проявяване): Основното оборудване за фотолитографски процеси, контролиращо покритието, експонирането и проявяването.
Оборудване за почистване, покритие, проявяване и отстраняване на филм.
Подходящ за физическо почистване с изплакване, почистване на частици и процеси на пръскане.
Продуктови спецификации и области на приложение на серво мотор с кух вал:
750W/1000W – 5000, 6000 об./мин
Области на приложение (модели от висок-клас):
8-инчово и 12-инчово полупроводниково оборудване.
Процеси като нанасяне на покритие, проявяване, почистване и ецване.
Максималното ускорение може да достигне 50000 R/S² мигновено ускорение.
Специалният дизайн на края на вала осигурява най-ниския коефициент на отклонение при натоварване в края на вала.
